二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9174489 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ系列反应堆是一种高性能蚀刻设备，用于半导体制造过程。WxZ反应堆是一个先进的蚀刻系统，利用等离子体技术提供快速、精确的蚀刻，对基材的损害最小。AMAT Centura WxZ设计用于处理直径从6英寸到32.5英寸不等的晶片。它具有一系列工艺模块，包括高电流离子束蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）、RPCVD、SPCVD和PECVD。应用材料Centura WxZ反应器由一个带有旋转电极的腔室组成。这个单元能够处理高通量的过程，如蚀刻和植入各种材料到晶片的表面。它还能够提供非常均匀的蚀刻轮廓,消除边缘的过度蚀刻,并消除最终产品中的"边缘效应"。该机器还提供了高级自动化软件包。这个包包括一个气体控制台，集成晶圆转移机器人，和等离子体增强型化学气相沉积（ECD）工具。此自动化软件包旨在最大程度地减少交叉污染,减少流程之间的变化,并提供更好的资产控制。Centura WxZ能够实现多种材料的高品质蚀刻，包括硅、移植物、砷化氙和各种介电材料。它通过高级软件界面进行控制，使用户能够轻松调整工艺压力、流量、蚀刻速率和基板温度等参数。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ还具有先进的安全模型。这种设备的设计是为了防止室内的任何污染，并提供温度和压力调节。安全系统还监控工艺加热器、压电晶体和等离子体的完整性。它还监控功耗，这有助于优化其能耗。AMAT Centura WxZ反应堆为各种应用提供了各种半导体材料的可靠、快速和精确的蚀刻。其先进的自动化封装、高性能蚀刻单元和安全机器使其成为精密蚀刻的理想选择。