二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9198276 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ
ID: 9198276
晶圆大小: 6"
WCVD system, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ Reactor是一种高性能沉积系统,旨在使材料研究人员和inovator能够生产高级涂层和超纯薄膜。AMAT Centura WxZ反应器具有专有的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺,允许在一次运行中多层沉积。这一过程利用反应性气体、等离子体和热量的溷合物,将各种金属、绝缘材料和化合物的薄膜沉积在基板上。该工艺还可用于将物料沉积在现有物料上,而不会损坏底层基板。反应堆还配备了高分辨率的沉积映射系统,可以精确定位和沉积薄膜。制图系统简化了沉积过程,确保了整个基板的最高均匀性。应用材料Centura WxZ反应器针对Si、Ge、III-V化合物半导体等各种基板上外延膜和超晶格的生长进行了优化。它还具有良好的膜厚度、组成和形态均匀性。此外,薄膜厚度的均匀性使得它非常适合多层、异质结构和纳米结构的沉积。反应堆设有高分辨率计量系统,包括薄膜厚度表征、表面地形表征、光谱椭圆偏振和透射电子显微镜。计量系统提供有关薄膜性能的详细信息,以实现最佳生长优化和过程控制。Centura WxZ Reactor还提供了广泛的辅助设备,如自动盒式装载系统、自动流体系统、原位清洗系统和热控制系统。这种辅助设备可以有效地操作和优化晶片的处理。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ Reactor可靠易用,使研究人员和创新者能够快速获得所需的高沉积速率和出色均匀性的薄膜。利用最新技术,该反应堆提供了性能和效率都很好的薄膜。
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