二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9203350 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ是为半导体制造中的沉积而设计的工艺反应器。反应堆能够进行物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）过程。它具有双大体积反应量,可提高处理吞吐量和灵活性。该系统配备了射频发生器和射频等离子体源，使均匀、高质量的薄膜具有低颗粒水平。WxZ反应堆还具有用于基板旋转的真空卡盘，以及带有高端质量流控制器的自动气体进料系统和对工艺参数的自动现场监测。高精度的温度和压力控制系统确保了一致的、可重复的结果。此外，WxZ反应器的设计能够提供卓越的温度均匀性，最大限度地减少整个基板表面的可变性。这保证了在大型基板上高质量的薄膜生长。WxZ反应堆的设计目的是提供最高程度的过程控制和精度。复杂的工艺监控功能能够实时检测薄膜厚度和其他关键工艺参数。它旨在最大限度地提高吞吐量,并最大限度地减少消耗。该系统还提供工具访问监控和紫外线（UV）轻型安全钥匙打印,以增强安全性。WxZ反应堆与一系列工艺化学体系兼容，允许半导体制造具有最大的灵活性。这包括离子束蚀刻（IBE）、反应性离子蚀刻（RIE）、原子层沉积（ALD）和电化学应用等过程。该反应堆由坚固、优质的材料构成，确保了可靠的运行和延长了产品寿命。此外，它的密封室设计便于维护，并有助于防止污染和确保过程的可重复性。AMAT Centura WxZ是实现高质量薄膜的可靠工具,具有卓越的工艺控制和更高的效率。
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