二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9251453 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一种用于薄膜沉积的化学气相沉积反应器。AMAT Centura WxZ可使薄膜沉积在各种不同的基板上,因为它对控制薄膜生长的参数提供了高度的控制。它具有多个Mega团簇源，允许单独材料的汽化，从而导致材料在基板上的共沉积。温度区介于50至1000摄氏度，其单色仪为表面涂层提供增强的光谱控制。该系统还具有高流量气体处理系统，能够输送各种各样的高压加工气体，如氯、蜡、氮。APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一种高度通用的薄膜沉积工具,非常适合从金属和有机薄膜到高k电介质和高级薄膜堆栈等多种应用。刀具组件包括顶部和底部电极、中央射频源、上下定向套件、上下腔室和支撑架。该腔室提供一个可关闭的开口和多个石英视孔，以检查沉积过程或基质腔室。它配备了多台联网计算机和自动化系统，使用户能够控制基板位置、腔室温度和惰性大气。Centura WxZ还包括一个先进的过程控制系统，利用热监测来确保适当的基板位置、统一的过程和快速的周转时间。它为后处理提供了广泛的选项,包括光刻、离子铣削和蚀刻、热干燥等。此外，该工具可用于研发目的和扩大生产过程。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一种可靠和通用的薄膜沉积工具，用于研发、晶圆和基板薄膜沉积以及其他先进的后处理应用。它提供了一个用户友好的环境，具有先进的能力和参数控制，使研究人员能够取得高质量和可靠的结果。