二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9273065 待售
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ID: 9273065
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
WCVD System, 8"
(2) Chambers
LL Type: Narrow body
Chiller: AMAT 0 Heat Exchanger
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ是为电力/逻辑/SRAM嵌入式内存设备制造而设计的先进氧化物反应器系统。该反应器用于从初始晶片清洗、薄膜沉积(例如SiO2)和植入提供单面晶片工艺。利用集成传输系统,AMAT Centura WxZ可以在单个腔室中执行多个过程,或者在腔室之间移动晶片以实现多腔室集成。这种高效的系统能够在极低的沉积温度下生产出薄薄的氧化物层。APPLIED MATERIALS CENTURA WxZ的法拉第磁控管溅射器在整个晶片表面提供了一个均匀的过程,使得以令人难以置信的精确度创建宽达30nm的结构成为可能。Centura WxZ的模块化设计允许用户定制反应堆,以满足他们个人的需求,同时保持一致的过程。利用模块化组件可以灵活地与金属沉积和原子层沉积等其他工艺步骤集成。其他独特的功能包括高吞吐量、低温处理、快速处理时间以及高级控制和数据采集系统。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ允许客户根据特定应用程序使用各种工艺选项。这些包括清洁、热氧化、氧化和氮化退火、快速热退火系统、植入后退火和后清洗过程。AMAT Centura WxZ还附带了一个高级控制软件包,它提供了易于使用的用户界面和对实时可编程数据的访问。这些数据可用于优化工艺条件和保持工艺一致性。APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一种多功能、业界领先的反应堆,在节省空间的环境中提供卓越的性能。它结合了高生产率、精确的温度控制和出色的可靠性,以确保高产量和降低拥有成本。随着Centura WxZ效率和灵活性的提高,设备制造商现在可以以最高的产量生产集成电路。
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