二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9315574 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ反应堆是一种高效、高性能的等离子体蚀刻设备，专为半导体行业的关键应用而设计。反应堆能够同时处理n型和p型晶片，使设备产量和吞吐量达到最高水平。AMAT Centura WxZ是一种双区反应堆，集成了经典和先进的等离子体蚀刻技术，以精确控制各种蚀刻蚀刻剂的精确时间和剂量。该系统配有一个封闭的射频室，允许精确控制等离子体环境，并确保晶片暴露在均匀一致的蚀刻条件下。APPLIED MATERIALS Centura WxZ还具有可变气体注入单元，允许精确控制蚀刻气体流量。这允许精确控制蚀刻速率、选择性和离子能量，以及优化蚀刻过程的均匀性和可重复性。该机器可配置为使用各种气体，包括Ar、CF4、HCl、O2和SF6，以确保最佳工艺性能。Centura WxZ还具有先进的真空工具,可最大程度地减少污染并提高蚀刻室的可重复性。真空资产旨在最大限度地减少颗粒污染，最大限度地降低晶圆损坏的风险。该模型还采用了一种新型的静电卡盘设计，保证了晶片的牢固而均匀的夹紧，从而能够精确控制蚀刻均匀性和屈服。最后,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura WxZ包括多种增强的自动化和过程控制功能,为等离子体蚀刻工艺的最新优化提供了一个全面的平台。该平台包括用户友好的图形用户界面、实时流程监控和诊断功能，以及预定义蚀刻流程的综合库。总体而言，AMAT Centura WxZ是一种用途广泛、效率高的等离子体蚀刻反应器，能够为半导体工业中的关键蚀刻工艺产生优异的效果。通过结合经典和先进的等离子体蚀刻技术，该设备能够实现相同的蚀刻特性，确保最高水平的设备产量和吞吐量。APPLIED MATERIALS CENTURA WxZ具有一整套自动化和过程控制功能,是寻求卓越蚀刻效果者的理想选择。