二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE+ #9236897 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE+
ID: 9236897
晶圆大小: 8"
Rapid Thermal Processor (RTP), 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XE+Reactor是一种先进的半导体制造系统,旨在实现高性能以及针对高级设备工艺的定制。它为多平台流程需求提供了极大的灵活性。它将增强的流程与通用且经济高效的平台相结合。XE+的强大设计提高了系统性能,并确保了可靠的流程结果。AMAT Centura XE+允许制造微电子器件,例如晶体管和互连。XE+反应堆基于最新的AMAT Centura设计,采用单涡轮泵浦金属源堆和两个独特的中涡轮泵。金属源堆栈配有先进的双喷嘴PVD组件,在晶圆表面上提供了优越的金属均匀性。PVD组件利用优化的薄膜几何形状,允许改进特征大小和间距控制。中型涡轮泵的使用使得半导体特性的进一步小型化成为可能,从而实现了设备技术的最大可扩展性。XE+反应堆还设计用于先进的晶圆级工艺控制和优越的工艺鲁棒性。高级过程控制系统最大限度地提高了工具的性能和产量,同时提供了针对不同产品类型调整多种不同配方的工具设置的灵活性。该平台允许快速制造各种尺寸和体系结构的设备。XE+允许快速生产能够最大限度地节省成本并提供最优质产品的设备。XE+反应堆是当今先进半导体制造的重要工具。它提供了高水平的灵活性和定制,优越的晶圆级工艺控制和优越的工艺鲁棒性,以及出色的特性尺寸和音高控制。它是广泛应用(包括MEMS、IC和逻辑)的理想解决方桉。XE+是先进半导体器件制造的宝贵工具。
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