二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XP #9201763 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XP反应堆是一种用途广泛的加工设备,旨在满足当今高生产率半导体制造的需求。这一设备能够处理高级和旧式流程,在不同技术之间转换时提供了出色的灵活性和可扩展性。AMAT Centura XP能够执行各种不同的过程，包括沉积、蚀刻和化学气相沉积（CVD）。该系统还提供先进的过程监测和控制，包括计量、晶圆断裂检测和故障审计选项。APPLIED MATERIALS Centura XP提供出色的热控制,包括自动晶圆传输支持,允许快速循环时间和可重复结果。Centura XP反应堆具有双负载锁和自动原位负载锁（ISLL）选项,以及可编程、模块化和可扩展的平台,因此提供了卓越的灵活性和准确性。这使用户能够根据自己的特定需求配置设备,并确保最大程度地控制流程。此外,该机器还具有高压气体和液态PRGD、集成的安全检查和联锁、自动压力和温度监测,以及具有多种选项（根据应用类型而定）的加热工具。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura XP反应堆的设计具有最大的可靠性和正常运行时间,并具有广泛的集成功能。它支持多达24个配方级别、即时调节、氧气、氦气和氮气净化，并与一系列先进的工艺配方兼容，如下游反应物进行蚀刻和表面损坏。此外，该资产包括20英寸的集群工具，最多可同时在最多6个晶片上应用5种配方，而自动卡带到卡带（CTC）传输模型确保了可靠的晶片传输周期。该设备的结构采用镜面抛光元件，减少了微粒的产生，并最大限度地提高了性能和吞吐量。此外，AMAT Centura XP反应堆是为低成本、高体积的过程重现性和出色的微粒控制而设计的。为了最大限度地提高可靠性和正常运行时间，系统配备了自动化的过程验证层，允许快速的错误检测和纠正。其他功能包括车载预防性维护单元,以及自动报警和故障安全系统。机器还可以配置为自动适应等离子体条件的变化，减少对手动、劳动密集型调整的需求。
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