二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XZ #9093325 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XZ反应堆是一种PECVD设备，设计用于高级半导体和光电器件的高生产率制造。该系统具有高度集成的操作控制以及自动装卸功能。该单元可配置为最多提供三个独立的工艺室，每个室由一个专用的高频电源支持。每个腔室都配备了电位稳定器技术，允许精确控制等离子体参数以进行有效的蚀刻速率/选择性控制。AMAT Centura XZ反应堆提供了生产CMOS器件、MEMS结构、MEMS元件和单晶硅半导体器件的灵活平台。该机能够进行超高沉积（UHD）工艺，并配有高压射频发生器（HV-RF），在PECVD工艺中改善表面均匀性。该工具的编程沉积控制资产（DCS）提供了整个晶片中薄膜厚度的精确控制和可重复性。应用材料Centura XZ反应堆具有一系列创新工具,可增强过程控制和性能。这包括用于原位掺杂的自动掺杂剂输送模型，它可以最大限度地减少物质损失，并确保重复的掺杂浓度。该设备还通过利用单室或多室配置中的各种反应性气体溷合物，支持精确的蚀刻控制。此外，该系统在广泛的沉积温度范围内提供统一的沉积速率，最大限度地提高产品质量。该反应堆设计用于快速启动工具和易于操作，从而能够更快地生产晶圆。该单元是模块化和高度自动化的，减少了装卸晶片的复杂性，为人员提供了一个安全的环境。该机还具有互锁等内置安全功能，以防止高压和污染事件。Centura XZ反应堆是一种创新工具，为先进的工艺需求提供一系列解决方桉。它设计为通用,可配置为满足各种应用程序的特定要求。该资产提供了精确的过程控制、高均匀性沉积率，以及整合原位掺杂以实现无缝掺杂浓度控制的能力。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura XZ反应堆是先进半导体和光电器件高效制造的理想选择。