二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146827 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆是半导体器件制造和等离子体加工最先进、最可靠的系统之一。它是半导体器件制造中研发和生产应用的一种高度灵活的工具。设备主要有两个部件：第一个是由一系列石英或不锈钢板组成的真空室，可以用惰性气体加压，通过它可以稳定真空。第二个部件是阴极组件，它容纳阴极材料，可以插入腔室产生等离子体。此外，它还有一个射频发生器，为等离子体供电，以及一个气体供应系统，用于接纳过程气体进入腔室。AMAT CENTURA反应堆中的射频发生器是一种能够控制功率输出的高压模块。这允许操作员微调操作参数并选择最佳电源控制设置。射频发生器还处理施加在晶圆上的偏置电压的控制。射频发生器也连接到腔室的底板，起到屏蔽作用，有助于防止对电路的干扰。供气机组也是APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆的关键部件。它通过一组输入和输出阀与真空室相连，用于将氧气和氮气等工艺气体引入腔内。然后将这种气体与工艺材料溷合，在室内重新循环，以保持适当的温度和压力控制。CENTURA反应堆中的阴极组件由一组电极组成，这些电极由机械和电气部件组合固定在适当的位置。这些电极负责在腔内形成等离子体，使用的电极类型和组合因应用不同而不同。阴极组件可以定制，以适应用户的特定需求。最后，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器的腔室也是高度可调的，可以编程为增加或降低腔室内的温度和真空水平。这可以让用户达到所需的操作条件，从而可以大幅提高流程的产量。综上所述，AMAT CENTURA反应器是一种用于半导体器件制造和等离子体加工的可靠、通用的机器。它提供了支持研发和生产应用的出色功能组合,以及一组可靠的功能,如射频发生器、供气工具和阴极组件。所有这些组分结合在一起，使应用材料CENTURA反应堆成为半导体器件制造和等离子体加工中最受欢迎的选择之一。