二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146828 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种用于制造微电子器件的高温反应器。它可以用来在半导体基板上沉积各种薄膜，包括绝缘体和导体。AMAT CENTURA由高温级陶瓷、不锈钢和其他热元件组成,可承受制造所需薄膜所需的高温。它由包含一个工艺室、电子束枪和冷却元件的外壳组成。在加工室内有一个基座，基座上可以放置基板。基板被电子束枪加热，电子束枪用电子轰击基板表面。当光束被引导和聚焦穿过基板时，热量产生，材料开始熔化，最终从基板表面蒸发。该工艺室具有两个气源，可用于向工艺室内部提供大气。一个气源指向薄膜沉积区域，而另一个气源指向杯环，可以为基板提供额外的冷却。加工室内部的温度可达800 °C的温度。这种加热的气氛允许膜沉积迅速发生，允许更高质量的膜沉积在基质上。此外，大气层可以以0.1°C的精确度进行控制，允许根据期望的结果沉积各种薄膜。APPLIED MATERIALS CENTURA的尺寸和重量使其非常适合在清洁环境中处理。它能够处理直径不超过200毫米的基板,并具有易于使用的液晶屏,用于控制工序室内的工序。CENTURA是一种高温反应器，最适合制造具有优质薄膜的微型器件。它能够承受高达800 °C的温度，并能以0.1°C的精度提供对工艺大气的精确控制。此外，它很容易安装在洁净室环境中，并且可以容纳直径不超过200毫米的基板。