二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293587805 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种最先进的物理气相沉积（PVD）反应器。它旨在在基板上制造高质量的薄膜或涂层。AMAT CENTURA在室温高达1000摄氏度的温度下运行，可用于沉积金属、金属氮化物、介电等多种材料。反应堆利用两个工艺室，通过启用两步工艺序列，可以更好地控制沉积工艺。全不锈钢结构和计算机控制的自动化工艺参数使应用材料CENTURA成为确保高质量和经济高效沉积的理想反应器。反应堆利用电容耦合射频（RF）等离子体技术，在整个沉积过程中保持稳定一致的环境。这样可以提高沉积速率，改善材料均匀性，更精确地控制物理和化学性质。CENTURA反应堆设计针对下一代半导体器件的生产进行了优化。利用蒸气和溅射沉积技术以及工艺气体溷合和溷合优化方法，实现了较好的再现和沉积质量。这样可以确保以最小的处理步骤形成复杂的设备结构,同时保持高产量。该反应堆有内置配方，允许吞吐量优化和批量可重复性。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA提供了最先进的自动化控制功能,以简化沉积过程的各个方面。自动化调谐过程使反应堆能够保持稳定的环境，防止污染，减少涂层膜的变化。AMAT CENTURA还提供了高级自动化配方程序,以实现高效的批量可重复性和最大的吞吐量优化。反应堆可以实时监测，以确保过程的稳定性和均匀性，并存储来自沉积的所有数据，以便于检索。APPLIED MATERIALS CENTURA是生产高质量薄膜的高效、通用且极其可靠的工具。其优越的设计和控制特性使其成为生产半导体器件以及应用于先进涂料和材料沉积的首要工具。