二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293600348 待售
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ID: 293600348
优质的: 1997
Metal etcher
Mainframe
(2) DPS Chambers (Poly and metal)
(2) R2 Chambers
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Transfer pump / loadlock pump
(3) BOC EDWARDS iH80 Dry pumps
(3) NESLAB HX-150 Chillers
HP Robot
Narrow body load locks
AC and generator rack
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA WAFER Reactor（AMAT CENTURA）是一种金属沉积工具，设计用于在多种材料中产生复杂的晶圆图样。该工具可用于沉积金、铝、钛、铬、钨等材料。APPLIED MATERIALS CENTURA使用低成本化学气相沉积（CVD）和化学机械平面化（CMP）技术，生产出高度均匀、细微特征的金属结构。CENTURA采用高效的总腔室设计,增强了晶圆重排、晶圆性能和腔室利用率等工艺能力。这种高效的设计采用了双循环CVD设备，能够在更短的时间内处理更多的晶片。Dual Cycle CVD可以同时处理多达16个晶圆，允许同时多次沉积不同的材料。此外,双轨CMP模块允许增加吞吐量,从而在均匀性、平面性和金属化方面取得优异的效果。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA提供了前所未有的灵活性和精确度,允许用户存放、蚀刻和抛光最复杂的细节。CVD系统配备了先进的晶圆计量单元，实时评估模式特征。这为用户提供了前所未有的对其过程的控制,并为高度详细的特征提供了准确的沉积参数。此外，AMAT CENTURA还包括一个动态温度映射功能，以准确地映射所有基本工艺区域的温度分布。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA还配备了高级安全功能和许多有助于优化工艺条件的工艺工具。该工具包括一个"传感器安全"监控机器和弹出晶片真空去除晶片。该工具的其他特点包括粒子检测资产、真空压力监测模型和用于晶圆处理的高度可靠的机械臂。CENTURA提供卓越的精度和可重复性,提供卓越的晶圆表面均匀性.该工具还可以完全自动化,并作为灵活制造过程的一部分与其他工具集成。这种灵活性使用户能够整合他们的过程并控制整个生产过程。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA具有先进的特点和直观的操作，是精密沉积和抛光优质晶片的理想工具。
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