二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293607516 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是AMAT设计的高性能半导体晶圆处理设备。它是一个集成的综合解决方桉,使制造商能够提高生产率和最大限度地提高产量。AMAT CENTURA系统在一个平台中结合了多个过程步骤，允许对各种材料和基材进行可重复和可控的处理。先进的单位允许综合计量和检查能力和过程可重复性。该机还配备了各种功能，可用于测量温度、压力、流量、电压和电流等性能参数。APPLIED MATERIALS CENTURA与所有光刻系统兼容。晶圆处理反应室包括一个蚀刻剂、路由、电化学沉积（ECD）、扩散和RTP（快速热处理）。该腔室的设计允许快速、可靠和可重复的结果对任何晶圆大小和形状。该工具的另一个主要组件是晶圆映射站，它允许根据晶圆的应用灵活放置和对齐晶圆。这样可以准确地映射设备特性,并监控光学和电气测试期间发生的任何变化。CENTURA的Etch和Diffusion功能允许高效去除不需要的层材料,从而实现过程的均匀性。电化学沉积（ECD）能力使得金属和金属氧化物能够形成均匀的图样。快速热处理（RTP）室允许基板快速退火。ECD室还具有较高的金属沉积速率，减少了工艺时间，提高了产量。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种独一无二的集成晶圆处理解决方桉。该资产将生产运行期间的总体风险降至最低,并能够在确保像素均匀性的同时提供可靠的结果。该反应堆用途广泛，效率高，适用于半导体制造的广泛应用。
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