二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293614967 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种等离子体增强化学气相沉积（PECVD）反应器。这种类型的反应器用于将材料的薄层沉积在各种基板上，如半导体和其他电子元件，用于制造集成电路、光伏电池和其他器件。AMAT CENTURA被设计为一种生产、灵活、高性能的反应堆，提供卓越的材料沉积能力。它利用坚固的远程等离子体源（RPS）来产生高反应性和清洁的等离子体,并能够转换多种化学和工艺参数。APPLIED MATERIALS CENTURA有一个真空容器，设计有创新的、易于使用的感应耦合等离子体（ICP）源。它提供了可自定义的，高度均匀的等离子体参数跨基板均匀沉积。射频连接的优化设计、射频调谐电路和天线缩放都通过降低频谱噪声和保持均匀的等离子体穿过感受器提供了出色的等离子体调谐。通过实现精确的电源和电流控制,ICP源可以有效地消除基板充电并消除溅射现象。CENTURA的主要特点是能够制造出多种掺杂剂浓度和化学前体的材料，为材料工程和设备制造提供更大的灵活性。PECVD系统能够生产出一系列材料，如单晶SiGe合金、稀土氧化物和薄薄的二氧化硅层，具有精确和可重复的掺杂能力。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA还配备了快速热扩散分离器和快速热外延反应器，能够进行掺杂物交换和减少设备处理的缺陷。在加载和温度控制方面,AMAT CENTURA提供了一组独特的功能。其集成的负载锁定盒式磁带能够进行高温操作，能够在最多五个基板上保持高均匀性。采用低调设计，系统简单易用，采用自动化基板传输系统，可快速装载和加工基板。APPLIED MATERIALS CENTURA是一种先进的PECVD反应器，结合了可靠的性能和广泛的沉积能力。其创新功能提供了无与伦比的灵活性和性能,而其优化的设计降低了维护成本,节省了时间并提高了吞吐量。因此，在需要速度和高质量沉积工艺时，CENTURA是先进设备制造的理想选择。