二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293619653 待售
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ID: 293619653
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Etcher, 12"
EFEM
MP 40B-GL ADVANCED THERMAL Chiller
(3) Workstations
(3) Chambers (A, B, C)
AC Rack
Front panel
Pump
Pallet
Cable
2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一个高性能、多用途的等离子体反应系统,旨在支持先进材料的持续创新和生产。这种反应器使电介质、金属、聚合物和有机层以及多层组件和涂层的加工能够在一次操作中进行。它提供一系列高温、高性能的等离子体清洗、处理和各种材料的沉积。AMAT Centura Enabler提高了吞吐量和可靠性,改进了流程一致性和流程控制。它具有集成的等离子体源、演示的真空系统以及提供更高整体处理效率的功率效率。此外,Enabler具有开放式框架设计,便于轻松加载和检索工件,并具有易于自动化的潜力。APPLIED MATERIALS Centura Enabler的最高加工温度可达1000 °C,允许使用无触摸PECVD、挥发性金属CVD、热蒸发以及聚合物和介电膜的沉积和蚀刻等工艺。反应堆还使不同沉积过程在同一基质上的组合产生多层结构。此外,它还支持具有可变成分调制(VCM)的过程,从而在沉积过程中改变沉积材料的组成。Centura Enabler可在广泛的温度范围内以高速率实现均匀沉积,非常适合精密涂层应用,包括硬质涂层、密封、封装和扩散。此外,它还可用于真空炉系统,如AMAT多室系统,以实现湿法和干法,并简化复杂的工艺序列。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler配备了双热/冷壁射频等离子体,使用户可以在不同温度范围内优化沉积质量、均匀性和速率。其先进的传感器、温度控制器、精密的电源和智能的过程控制系统可提高过程控制和操作精度。此外,安全和维护监控有助于确保可靠高效的工作环境,而且最终用户友好的用户界面允许用户快速轻松地调整配方和参数。总之,AMAT Centura Enabler是一种坚固可靠的反应堆,旨在为各种涂层和材料层提供高温、高性能和多用途的等离子体工艺。APPLIED MATERIALS Centura Enabler提高了吞吐量和可靠性,改进了过程控制和一致性。因此,它是实验室和制造环境寻求开发先进涂料和材料的有用工具。
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