二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293622689 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
ID: 293622689
晶圆大小: 12"
Etchers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一种高性能蚀刻反应器,旨在使半导体器件制造和生产中的细线特征沉积。AMAT Centura Enabler利用Advanced Energy-control技术和E-beam技术实现了更快的工艺时间和对基板上层沉积的高度控制。APPLIED MATERIALS Centura Enabler的Advanced Energy-control technology is based on a focused electron beam which is used to activate the reaction site and control the energy delivery to the substriate, succcess of decession of decession这项技术还提供了出色的总刀具吞吐量,允许进行低成本批处理以实现最大的工艺正常运行时间,并且可以支持多种应用程序,从低成本生产到超精细生产。Centura Enabler中使用的电子束技术是电子束蒸发的一种形式,在基板表面上产生一个大的、均匀的、均匀的等离子体带。电子束产生的等离子体带均匀性和均匀性保证了层材料在基板上的均匀沉积,消除了微缺陷、不可接受的化学反应、薄膜厚度不均匀等常见加工问题。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler还提供了对蚀刻工艺的高精度控制。其先进的气流控制系统允许对等离子体参数进行微调,确保用最小的残留物实现所需的蚀刻量。AMAT Centura Enabler的蚀刻工艺产生的电离粒子可以微调至几纳米以内,进行精确且均匀的蚀刻。APPLIED MATERIALS Centura Enabler的能力和出色的工艺控制使其非常适合半导体器件制造和生产的广泛应用。其先进的能量控制和电子束技术使高通量生产具有优异的产量,而不会影响基板的完整性或工艺产量。通过实现更快、更均匀、更准确的层沉积,Centura Enabler是高质量、高性能设备制造和生产的理想选择。
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