二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293624204 待售
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ID: 293624204
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Etchers, 12"
EFEM
Process: Oxide
(5) AMAT Enabler
(3) Chamber enabler
(1) Generator rack
AC Rack (CVCF, UPS)
TM Module with VHP Robot
RF Rack (ENI B5005, GHW 50A)
Side storage
parts included
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一种化学气相沉积(CVD)反应器,用于制造半导体集成电路。AMAT Centura Enabler旨在提供过程灵活性和极其先进的温度控制。它支持最先进的CVD工艺和材料,实现了非凡的薄膜均匀性以及强大的性能和加速性能。APPLIED MATERIALS Centura Enabler采用了一种获得专利的均匀沉积技术,该技术便于保形和完全覆盖极其复杂的介电堆栈。它拥有先进的多区温度控制系统,允许反应堆不同区的温度不同。这样可以实现卓越的薄膜均匀性和控制性,以及同时独立运行多个进程的能力。Centura Enabler具有创新的过滤系统,可过滤所有工艺副产品,从而获得最高的清洁度和产量结果。这对于在晶圆表面实现非常薄的层沉积特别有用。过滤系统的设计也是为了尽量减少沉积前体的数量,从而提高产量。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler的设计非常可靠,能够减少停机时间。它是由高级不锈钢建造而成,提供卓越的耐腐蚀性,并使其适合大批量生产设施的严谨。它还提供了易于维护和维修的访问,以及使故障排除变得简单的内置诊断系统。总体而言,AMAT Centura Enabler是一个顶级的CVD反应堆,可提供高级工艺灵活性、温度控制和精密过滤功能。它能够提供卓越的效果,并提供令人印象深刻的可靠性和可维护性。
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