二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293652600 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一个高通量、多室的加工站，用于处理光刻胶或基材材料。它用于许多需要精密加工的行业，如半导体、医疗器械、薄膜涂层、航空等。该站由一个封闭的不锈钢外壳组成，并配有一个桌子，或基板级，以及四个独立的加工模块。每个模块都配有各种控制部件，可以包含多种不同类型的设备，从泵和喷射器到反应堆、搅拌机和蒸发器。这些模块是可编程的,可配置用于多个过程,包括沉积、蚀刻和清洁。每个模块还配备了安全关闭阀，使其适合用于危险材料加工。AMAT CENTURA的表为各种基材尺寸设计，可以容纳不同形状和材料的晶片，包括石英和硅。该表还有一个可调节的加热器，温度控制传感器，以及在加工过程中用于基板安全抓地力的真空卡盘。晶圆座可以调整以适应不同尺寸的晶圆。该表可以倾斜以提供一定范围的沉积和蚀刻角度。为确保基板表面的均匀性,APPLIED MATERIALS CENTURA还具有可调旋转系统。每个模块包含一个真空室和一个真空泵系统，以及一个用于将气体引入加工室的入口阀。进气阀控制气体在加工室内的流动和分布，确保过程的均匀性。气体分布通过腔内压力映射进行监测。真空室采用不锈钢结构，内衬耐化学陶瓷，营造出低压、无氧的环境。这种环境允许许多不同的过程，包括沉积、蚀刻和清洁。CENTURA还有能力整合额外的监控系统，如X射线工具或工艺气体分析仪。车站还设有5级洁净室功能，适合处理有害物质。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA通过集成先进的工艺监测、分析工具和自动化，是一种高效且用途广泛的处理光刻胶或基材的反应器。它结合了可靠的组件、高模块化和低维护成本,为各种行业提供了经济高效的解决方桉。