二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293751886 待售

ID: 293751886
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
CVD System, 12" Process: BD / SICOH Etch / Dry etch Size: 32 nm OS: WindowsXP 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种用于制造半导体器件的高性能物理气相沉积(PVD)反应器。AMAT CENTURA是一个单晶圆反应器,意味着它能够一次处理一个晶圆。应用材料CENTURA使用多种沉积方法和工艺将材料沉积在半导体晶圆上。沉积方法包括热蒸发、溅射沉积、化学气相沉积(CVD)和脉冲激光沉积(PLD)。CENTURA的设计目的是在不影响其质量的情况下以高通量持续沉积均匀的物料层。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器室由不锈钢制成,由电阻加热元件加热。它是一个超高真空室,底压在10-7 Torr以下。它具有快速热循环的能力,能够快速沉积和退火晶片上的材料。AMAT CENTURA还配备了电荷遏制技术,确保电子和离子不会从腔室中逸出,污染晶圆。这样可以防止晶片被可能影响其性能的杂质污染。APPLIED MATERIALS CENTURA是一种通用工具,用于制造各种半导体晶圆。它被用于晶圆上的钴、铵、的、钨、对苯二酚、钛等沉积材料。它还能够加工多种材料,包括金属、氧化物、氮化物和聚合物。除物理气相沉积外,CENTURA还可用于进行原位蚀刻和清洗过程,以进一步细化晶片表面。它还能够进行原位解吸和反射高能电子衍射(DRHEED)。这些信息有助于更好地了解材料暴露在一定温度或压力下的行为。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种高度先进和可靠的PVD工具,被许多行业用于生产晶圆。它的灵活性和性能使其成为为各种应用生产高质量晶片的理想选择。
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