二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293767144 待售
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ID: 293767144
Etcher
(2) Poly DPS Chamber
Does not include:
Buffer pump
Main power supply drawer
Orienter laser
Chamber A:
Source RF match
Digital turbo
Cathode chiller
Wall chiller controller
Chamber B:
Source RF match
Monochromator
Cathode chiller
Wall chiller
Turbo controller
DTCU Fan.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一个高性能、多用途的反应离子蚀刻平台，设计用于制造高性能半导体器件。设备采用创新设计，提供高吞吐量和低成本生产这些设备。AMAT CENTURA Reactor提供了一系列的能力，包括干蚀刻和湿化学蚀刻，以及各种材料的沉积。该系统采用综合设计，在一个单元中包含多个流程。该机包括真空密实反应室、电泵工具、射频电源和直流电源。反应室的设计可提供多达四个独立的工艺区，允许对各种材料和底物进行高精度的蚀刻和沉积。资产还包括气体注入模型，允许在蚀刻过程中添加蚀刻和沉积气体。APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor的创新设计提供了在所有工序区内高度的工序统一性和可重复性，使得装置性能和生产得以一致。该设备采用工业级自动化系统，为用户提供对设备参数的全面控制和实时反应条件的监控。这确保了高性能和准确性以及高效和低成本的生产。机器还配备了多种材料兼容性特性和诊断工具，允许对广泛的过程进行实验和优化。该工具具有很高的耐颗粒和材料污染能力，适用于高性能的设备制造和清洁环境。CENTURA Reactor是一种功能强大、用途广泛的资产，旨在能够制造高性能电子器件，提供可靠、低成本的生产。该模型结合其高度的工艺控制、精度和兼容性，对多种工艺进行了创新和集成，使其成为电子设备制造生产的理想解决方桉。
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