二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293767195 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一种高性能反应器,为薄膜沉积和湿蚀应用提供强大的工艺能力。它结合了AMAT标准流程模块配置和高级功能,使用户能够优化流程以提高生产效率和精度。AMAT CENTURA是一种单一晶圆、等离子体增强、化学气相沉积（PECVD）设备。它利用变频和直流电电源使各种半导体材料的薄膜沉积成为可能。APPLIED MATERIALS CENTURA有五个工艺模块-三个等离子体蚀刻室、一个蚀刻/带状室和一个沉积室-每个都有可调节的高度、间距和倾斜度,以确保统一的工艺结果。CENTURA的等离子体蚀刻室设计用于提供光刻胶、金属层和其他材料的高性能蚀刻。他们使用射频（RF）等离子电源产生蚀刻所必需的等离子。蚀刻/带状腔室可以同时蚀刻和剥离光刻胶和有机物。它配备了可调节的气体输送系统，可以帮助优化蚀刻剂的蚀刻速率。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA的沉积室是进行薄膜沉积的地方。它配备了双频射频发电机，为磁控管同轴直流电源提供动力，用于高精度的薄膜厚度控制。它也有一个反应性RF-DC偏置单元，提供晶圆表面的均匀偏置。偏置机也可用于启用串联处理。AMAT CENTURA除了具有高性能的工艺功能外,还具有先进的安全功能,例如隔离的等离子体隔板、通风口工具和全面的联锁装置,以帮助保护用户免受潜在危险的暴露。总体而言,APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一项功能强大的高性能资产,旨在为用户提供用于薄膜沉积和湿蚀刻应用的优化解决方桉。其可定制的工艺模块、精确的薄膜厚度控制以及全面的安全系统，使其成为寻求最大性能和稳定性的用户的理想选择。