二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9040065 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA （AMAT）是一种通常用于半导体制造过程的反应器。它用于各种KLA-Tencor扫描仪配置以及研发工具。本产品构造为具有支撑的高密度等离子体（HDP）室的垂直室反应器。AMAT CENTURA配备了两级隔离热区电池和背面冷环供电设备，以提供均匀的温度，并在腔室更大的区域上分配电力。其内壁涂有钼膜，以最大限度地提高蚀刻效率。APPLIED MATERIALS CENTURA还具有专门的蚀刻应用，包括深各向异性蚀刻，能够同时蚀刻正音和负音抗蚀性材料。这是可能的，因为等离子体电源被设计用来精确调整蚀刻速率。其腔室还具有自动温度补偿和温度反馈控制，以确保等离子体蚀刻过程中的卓越均匀性和准确性。CENTURA反应堆由相对低频等离子体源供电，具有反应性离子蚀刻（RIE）、离子辅助蚀刻（IAE）、离子束蚀刻和等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等多种气体状态。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA能够对金属材料进行化学反应和溅射，使其成为生产可打印电路板的绝佳工具。此外,此系统还可以灵活地轻松快速地调整蚀刻参数,以满足特定应用程序的动态需求。AMAT CENTURA的设计允许扩展现有设备平台以满足更高的生产量,并允许对流程进行即时更改以适应不同的应用要求。这种灵活性允许以最小的停机时间和更高的吞吐量快速进行更改。使用APPLIED MATERIALS单元配置选项,用户可以对腔室进行修改,以获得更高的吞吐量、更低的蚀刻速率,甚至可以更改不同材料的工艺协议。APPLIED MATERIALS CENTURA是一款可靠耐用的机器,具有一系列安全功能。该单元安装在不锈钢外壳中，安全联锁和可调节气体歧管均设计为降低事故风险和保护人员。腔室壁由铝合金构成，并装有热稳定的玻璃盖板，并包括一个排气鼓风机以排出任何危险废物。CENTURA是一种半导体反应器，提供了一系列优化蚀刻性能、控制精度和提高整体效率的特性。它的灵活性和耐用性为各种需要精确蚀刻和溅射金属源的应用提供了绝佳的平台。该工具还配备了一系列安全功能，使其成为安全可靠的工具。