二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9057368 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA™反应堆是一种适用于各种半导体工艺的高性能、灵活且注重成本的蚀刻工具。其先进的设计和专有技术使AMAT CENTURA反应堆能够提供最大的吞吐量和精密蚀刻。APPLIED MATERIALS CENTURA设计用于处理各种腔室配置,以满足不同的生产需求。CENTURA反应堆配备了先进的线性运动驱动器，包括x和y正交对准、速度、加速度和力感测等多个运动参数。这种强大的驱动器使AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA能够实现并保持高吞吐量。单电池静电卡盘（ESC）设计允许最小压力按住，从而优化电子温度，导致更高的通量。AMAT CENTURA反应堆配备了最先进的气体输送和控制系统，使用户能够以精确的蚀刻均匀性实现最佳的净化和蚀刻速率。介电隔离技术最大限度地减少晶圆加热，提供快速的热和冷却，进一步提高吞吐量和均匀性。APPLIED MATERIALS CENTURA采用全视图、有色视区和内部机器人设计,便于晶圆加载/卸载,增强安全性、多功能性和吞吐量。此外，CENTURA反应堆具有大量晶圆处理能力，如晶圆缩放、定向和处理，以及对压力、温度、功率、流量等最关键工艺条件的实时监测。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆配备了先进的工艺控制和诊断软硬件，允许用户定制操作，对工艺参数进行实时调整，以达到最大程度的均匀性和屈服。这包括专有的SmartManagement软件,它提供预测性维护和基于触发的警报功能。总而言之，AMAT CENTURA™反应器是一种先进、经济实惠的蚀刻工具，可提供最大脉冲模式功率、吞吐量和精密蚀刻，而用户友好、实时的过程控制和预测维护能力使其成为各种半导体处理应用的理想解决方桉。