二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9065058 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器是半导体器件制造的高效工具。专为芯片、电路等微电子元件的大批量量产而设计。它为沉积、蚀刻和离子植入应用提供了广泛的功能。AMAT CENTURA反应堆是一种先进的大型电子设备，可用于单晶片或批处理。它具有强大、高温、高压、高真空的工艺室，能够实现卓越的工艺精度和均匀性。该系统可靠性高，提供+/-1 °C的高精度温度控制，导致缺陷率低。反应堆也是高度自动化的，可以针对特定的沉积、蚀刻和离子植入过程进行编程。应用材料CENTURA反应堆由几个组件组成。主室配有RF（射频）等离子体源和热源，两者均用于反应性离子蚀刻（RIE）工艺。射频源能够高精度地对电路进行激光烧蚀和蚀刻。热源在蚀刻过程中在腔室内保持恒定的温度水平。反应堆还设有负载锁和冷冻泵，在整个过程中保持高真空水平。CENTURA反应堆还设有气体输送装置，可将气体和液体精确输送到反应室中。这台机器可以通过用户界面进行控制和监控。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器还包括真空歧管、继电器公猪和压力顶锁,可同时无缝处理多种基板。AMAT CENTURA反应堆配备了最先进的安全特性，以确保操作员安全和产品可靠性得到维护。该反应堆配有电气和物理安全系统，以及用于快速和安全关闭的紧急停止按钮。总体而言，应用材料CENTURA反应堆的设计旨在实现高效和精确的半导体器件制造。它提供了各种先进的特性和技术，为沉积、蚀刻和离子植入应用提供了可靠、高精度和可重复的过程。该反应堆适用于单晶片和批量加工，并配有精密的安全特性，确保运行过程中的最大安全性和可靠性。