二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9082524 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器是一种高效和精确的物理气相沉积（PVD）工具,旨在提供可靠和可重复的薄膜沉积过程。它是同类中最先进的系统之一，典型地用于半导体工业中，用于沉积材料，如氮化钛、砷化氙和用于装置制造的铝。该设备由四个主要组件组成：等离子体源、感光器、晶圆处理系统和控制器。AMAT CENTURA的等离子体源是300 mm光谱源，能够沉积介电和金属薄膜。它能够产生低压、高频电场，然后电离形成密集的反应物气体等离子体云，用来溅射目标材料，制造薄膜。该单元还与多种气体兼容，包括氮气和氧气，可用于控制薄膜性能。机器的磁感器是一种先进的元件，用于在沉积过程中支撑和加热晶片。它由钼涂层石墨板组成，配有一套独特的加热器和控件，以保证晶片的均匀温度，最大沉积效率。APPLIED MATERIALS CENTURA的晶片处理工具是一个高度自动化的机器人模块，负责将晶片从弹匣装入反应室中，并在薄膜沉积后卸载。它旨在实现晶片的快速、精确的装卸，以优化吞吐量。最后，资产的控制器负责控制PVD过程的各种参数。还用于监测和调节基板温度、气体流量、晶圆位置、射频功率等工艺变量。这样可以确保参数保持在最佳的沉积范围内。总体而言，CENTURA是一种非常先进的薄膜沉积模型，它为设备制造提供了可靠和可重复的薄膜沉积工艺。它配备了多种组件和功能，以确保最大性能、效率和精度。利用其先进的控制器设备，能够控制沉积过程的各种参数，确保优异的效果。