二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9104375 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器是为半导体器件制造而设计的最先进的工具，提供受控、均匀的蚀刻和沉积。该工艺室设计有封套石英管密封防止气体逸出，以及创新的基板支撑系统。这有助于在蚀刻和沉积过程中保持较高的清洁标准。AMAT CENTURA配备了先进的机器人控制晶圆传输系统，使其在蚀刻沉积过程中能够精确地将晶圆往返于腔室。这确保了沉积材料的最大精度和控制。APPLIED MATERIALS CENTURA还具有可调节的精密气体喷射系统，能够精确控制蚀刻气体和沉积材料。CENTURA还能够使用多种CVD工艺沉积多种薄膜，包括低压CVD、高压CVD和高气密。这可用于沉积薄至10nm和0.1nm的薄膜。根据工艺不同，反应堆可以达到高达200毫米/分钟的沉积速率。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA也可用于退火和回流工艺，使其与各种其他制造工艺结合使用。它旨在最大限度地减少过程中基板的失真，这将确保一致和高质量的性能。此外,AMAT CENTURA可以配置为用于蚀刻晶圆和掩码应用程序。APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆还设计了一个先进且用途广泛的源柜，能够严格控制工艺条件。它包括可调气体预热器和冷却器系统，以及对多个供气通道的独立控制。而且，源柜可以配置额外的排气和真空系统，以提供对蚀刻选择性和原子成分的最大控制。总体而言,CENTURA是一种高精度、可靠和灵活的工具,可为制造商提供满足其技术挑战所需的精确度和控制,从而确保他们获得性能最高的产品。