二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9116528 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器是一种先进的半导体器件制造材料沉积系统。该系统用于在半导体晶圆表面上铺设薄膜材料，从而形成电路、晶体管和集成电路的其他关键部件。AMAT CENTURA反应堆由几个部件组成，包括水平网旋转器、等离子体发生器和发电机支架、等离子体电源、真空室和负载锁。水平网旋转器旋转一个薄的半导体网，然后加载到负载锁上并放置在真空室中。在真空室内部，使用先进的基于等离子体的工艺，用薄膜材料包覆了网。等离子体发生器产生了一个等离子体，它是由的，氮和氧原子组成，然后在高温和高压下被引导到网络上。等离子体中的负离子随后与网上的材料相互作用，形成薄膜层。通过改变反应性气体和操作条件，可以在薄膜层上进行沉积、氧化、合金化等过程。等离子体发生器还可用于用臭氧或高能等离子体处理网状物，以清洁晶圆表面，并在薄膜层施加之前或之后去除任何无关的颗粒或污染物。等离子体在过程控制方面也有很大的灵活性，可以用来执行不同方向的步骤。这允许更精确的过程控制,这对于设备制造至关重要。APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆配备了先进的ControlLogix软件，允许调整工艺参数，如功率设置、气流和真空设置，以满足所需的工艺要求。软件还记录过程中的数据,以便用户可以分析结果并排除可能出现的任何问题。CENTURA反应堆是半导体器件制造的宝贵工具，因为它能够实现更高的精度、更高的吞吐量和更快的处理速度。凭借先进的技术和工艺控制特点，成为半导体制造业的关键组成部分。