二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9121573 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是AMAT建造的大型、多用途、生产规模的半导体制造反应堆。该设备旨在满足半导体行业对高精度和高产元件日益增长的需求。该系统包括最先进的技术和一套独特的功能,以确保卓越的生产性能。AMAT CENTURA反应堆建在砷化零（GaAs）平台上，能够製造最大3.5英寸大小的虚拟晶圆。它能够生产用于集成电路结构、薄膜和高密度互连（HDI）基板的超精密元件。该单元旨在为深层反应性离子蚀刻（DRIE）和物理气相沉积（PVD）层提供全部功能。该机的关键特点是其高占空比、优良的材料特性和出色的工艺控制。其高速生产能力使其能够快速制造零件并缩短半导体制造的运行周期时间。其离子和光子束加工能力使其能够达到业界所需的高精度。它还能够轻松适应各种流程配置,并且可以快速重新配置以满足需求。该工具还可以提供完整的一套工艺控制能力，包括对参数的实时监控和报告，基板配准和放置，颗粒控制，腔室压力和真空清洁，腔室轮廓感测，工艺参数优化。此外,该资产还具有广泛的自动化选项,可有效地处理流程变更和提高吞吐量,以及快速可靠的产品制造配方库。APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆旨在满足最高质量要求并提供可靠性和精确度,同时提供更高的吞吐量并减少与手动过程相关的代价高昂的时间延迟。该模型非常适合生产高性能、高分辨率、高可控性和可重复性的纳米结构。