二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9146407 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是制造先进半导体器件的高性能反应器。它旨在高效地创建具有卓越均匀性和超低缺陷率的复杂的超薄材料层。这使得AMAT CENTURA对于新半导体技术的研发以及现有技术的大规模生产都是最佳的。APPLIED MATERIALS CENTURA的功能始于其高级设计。它有一个模块化的加工室，并能融入各种各样的排气系统。这使得它可以用于许多不同的生产工艺和基板，如硅片和平板显示器。CENTURA还配备了先进的编队控制设备和通用卡盘设计。这使得它能够精确控制各种工艺参数，如温度、压力和沉积速率。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA还配备了先进的工艺管理系统。这使得存储和召回来自多个来源的流程配方成为可能,从而使其能够从一个流程配方快速切换到另一个流程配方。此外,它还能够实时监视各种过程变量,以确保最佳性能。AMAT CENTURA的核心是其低压感应耦合等离子体（ICP）源。该等离子体源由电子回旋共振（ECR）等离子体源和磁线圈单元组成。ECR源产生了一个高浓度的等离子体源，气体消耗低，并且在基质上的污垢沉积极少。磁线圈机包括一个射频腔，允许等离子体中离子的均匀分布和高密度。这样可以确保在整个基板上均匀沉积。然后,APPLIED MATERIALS CENTURA配备了灯丝发射监控器（FEM）。这样可以检测和监测ECR等离子体的电流和温度，以确保最佳工艺性能。此外，CENTURA还具有自动晶片传输和可拆卸晶片船的功能，允许快速高效的晶片装卸。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA是一种特别先进的反应堆,其设计目的是满足制造质量、性能、可重复性和缺陷率最高的先进材料的精细和纤细层的最具挑战性的要求。凭借其先进的设计和能力,AMAT CENTURA是当今最先进的半导体技术的研发和批量生产的理想工具。