二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9157220 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA®反应堆是一种先进的半导体制造设备，用于制造用于生产计算机芯片、集成电路和其他精密设备的微电子电路。AMAT CENTURA®是一种高效、自给自足的反应堆设备，它将几个不同的处理室和环境合并成一个单件半自动设备。反应器由三个主要部分组成：主要过程发生的主室、预处理室和温度控制室，以及后处理室和输出室。反应堆的核心是主室，它包含了多种高能等离子体源，如射频或微波产生的等离子体，并进一步包括离子源、靶源和底物源（晶片），以达到理想的处理结果。底物源用于加载和卸载晶片，而离子源配置离子类型、离子能量和离子通量，以优化蚀刻、沉积和抛光。目标源提供金属靶标，在化学气相沉积过程中作为多种材料的来源。预处理室用于化学清洗、金属蚀刻、热蚀刻和表面活化等多种过程，而温度控制室则用于在主室内主加工前后精确控制目标和基板的温度。温度控制室是APPLIED MATERIALS CENTURA®反应堆系统的一个特别重要的组成部分，因为它允许最佳蚀刻、化学气相沉积、扩散或光刻工艺。后处理室用于气体清洗、热处理和最终钝化。此外,CENTURA®反应堆单元采用高级控制机器,以确保从一个进程运行到下一个进程的精确、可重复的性能。此外，反应堆设计为模块化，操作灵活，使其能够适应不断变化的应用。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA®反应堆经过专门设计,是一种可靠、高效和高度可配置的工具,可满足半导体制造行业的苛刻需求。其先进的等离子体源、温度控制能力、精密的气体管理工具以及多用途的模块化设计，使其成为研究和生产应用的理想平台。