二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9160524 待售

AMAT/AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA是一种先进的干蚀刻反应器,旨在为半导体制造商提供卓越的工艺性能、环境安全和降低成本的好处。该反应堆利用业界领先的技术对单层和多层结构进行蚀刻、各向异性蚀刻和深度蚀刻，精确度和可靠性都非常高。该设备采用耐用的不锈钢车身，耐腐蚀性强，其低功率要求、传感器控制的工艺控制、高吞吐量能力以及可选的工艺监控功能，确保高效运行和准确结果。AMAT CENTURA配备了先进的蚀刻技术，包括超高纵横比（UHAR）蚀刻能力以及双频电源。这样,对于难以蚀刻的材料,可以在深层蚀刻和更大的工艺窗口中实现卓越的性能。该系统还包括一个超快速快门单元，减少蚀刻时间，提高工艺吞吐量。此外,获得专利的静电卡盘（ESC）技术可实现最佳平面化,并防止在加工过程中对晶片造成X射线损坏。APPLIED MATERIALS CENTURA具有可选功能,例如用于晶圆快速氧化和氮化的PECVD模块和用于提高氧化物蚀刻均匀性的高级模块。该机器还具有高级晶圆映射功能和过程监控功能，允许直接可视化蚀刻轮廓和过程历史。此外,CENTURA能够立即检测过程问题,从而可以立即采取纠正措施。为确保最高级别的安全和可靠性，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA配备了闭环气体输送和控制工具、晶圆级蚀刻工艺的自动化均匀性校正资产以及用于保持关键工艺参数准确性的集成过程控制模型。该设备还包括一个集成的等离子体诊断系统，以帮助提高蚀刻性能，以及支持先进的过程分析来检测错误或过程的不稳定性。最后,AMAT CENTURA的设计既方便用户又经济实惠,其自动化的过程控制、易于使用的编程和维护选项使该设备非常适合短期和长期生产运行。在配合出色的工艺性能和可靠性的情况下,APPLIED MATERIALS CENTURA是任何寻求干蚀反应堆技术的半导体制造商的理想选择。