二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9166445 待售

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ID: 9166445
CVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器是一种先进的高性能半导体沉积工具,主要用于生产高科技、高性能和高密度集成电路。该工具利用高真空处理,使用创新的动态控制工艺将所需的物料层沉积到基板上。AMAT CENTURA反应堆使用一系列原料将一系列所需的材料,包括电介质、氮化物和金属氧化物,沉积到基板上的各个位置。原料线储存在一个容器或一个散装罐中,在沉积过程中从该容器向基材提供均匀的材料。此外,该工具还具有提高沉积均匀性和提高特征分辨率的优点。APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆的设计提供了高度的灵活性,允许沉积各种底物、材料和工艺。它适用于一系列配置,例如,温度范围、压力范围和基板尺寸。它提供了一系列高级功能,可实现流程自动化、准确监控流程参数以及高效、可靠的操作。反应堆还结合了多种诊断工具,提供详细的工艺表征数据,包括温度和压力监测、基板沉积分析、表面表征、图像分析以及先进的设备诊断。这样就可以对流程进行高级控制,并提供高水平的可靠性。CENTURA反应堆提供创新的过程控制系统,以确保最高质量和可靠性。该单元能够提供无与伦比的实时流程监控以及自动化流程控制。此外,该机器还支持各种应用程序开发工具,以及其自己的高级专有过程控制技术。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器是一种功能强大的先进沉积工具,为高技术、高性能和高密度集成电路的沉积提供了一系列特点。该工具配备了多项高级功能,包括柔性基板处理、过程自动化、过程表征和高级过程控制。此外,该工具还提供了一个全面的诊断包,允许进行详细的监控和过程调整。
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