二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9167547 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是用于制造各种薄膜基器件的标准反应器。它是当今半导体制造作业中最先进、最常用的反应堆之一。AMAT CENTURA反应堆设计用于高容量半导体加工，在500°至900°摄氏度的温度下运行（视工艺要求而定）。它利用多个流程室,使各种流程步骤能够在单个工具中完成。它可以支持多种工艺化学，包括PE-CVD、溅射沉积、蚀刻以及金属沉积和清洁。反应堆设计有两个不同的部分：腔室组件和自动化设备.燃烧室组件由作为反应堆燃烧室主要部件的燃烧室组件如分体式喷头、感光器插件、基板传递臂和沉池室组成。自动化系统由过程控制器、EPC（电可编程反应堆）控制单元和其他过程监控组件组成。APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆配备了最新的过程控制软件，提供实时的过程参数控制和数据跟踪。该单元能够运行各种半导体过程，包括物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。它还支持各种蚀刻工艺，以及金属沉积。此外，还配备了快速排气机和超压安全特性。CENTURA设计简单但坚固,可确保延长使用寿命和高质量的处理性能。它配备了可靠、高效的过程控制工具，能够准确、精确地执行复杂、重复的过程控制任务。通过调整流程参数和数据记录选项,可以轻松配置资产以适应不同的流程要求。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆优越的设计和集成特性使其能够提供可靠和精确的处理结果。其易用性和灵活的过程控制系统使其同样适用于低批量生产或大批量生产环境。该反应堆能够以极好的精度和可重复性处理大量复杂的阵列任务。总体而言,AMAT CENTURA是一种功能强大且用途广泛的工具,非常适合半导体处理应用。