二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9170825 待售
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ID: 9170825
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
CVD System, 8"
(4) Chambers
Type: Microwave
WSIX Optima
Fab interface: Front panel and GEM MCC
Load lock option: NBLL With 90° tilt out
Standard wafer mapping
Wafer sensor: Wafer out of cassette sensor (NBLL only, includes cass present sensor)
Manual transfer Ch hoist
Robot type: HP
Robot blade type: Metal (CES)
Vacuum facilities: Back end
Chambers A, B, C and D:
Chamber type: WxZ
Chamber process: WCVD
Endpoint
Standard TV
Standard Lid
Chamber E:
Type: Orienter
Chamber F:
Type: Cool down
Multi-slot cool down
OPTIMA System controller
Power service: Top
Monitors: TTW
System robot: HP
Gas panel type: Seriplex
Gas panel enclosure, 29"
G.P Facilities: Bottom feed SL (CES)
G.P Exhaust: Top
Gas line filters: Mott
BROOKS 6256 MFC
Backside cooling: Chamber A, B, C and D
Clean type: Microwave
(2) EMO's Mainframes
(2) EMO's Controllers
MF Exhaust: Top
Power service: Top
MFC Gasses:
Position A:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position B:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position C:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position D:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Missing parts:
SBC Board
VGA Board
Floppy Disk Drive (FDD)
Center find board
Chamber E encoder motor
Chamber lid cover (All chamber)
ORIENTE Interface board and CCD board
Power supply: AC 208 V, 3 Phase, 320 A, 60 Hz
2002 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆是制造集成电路（ICs）的高度通用和技术先进的反应堆。它专为改进超大规模集成电路（VLSI）和其他先进工艺技术的生产而设计。AMAT CENTURA反应堆具有独特的设计，允许用户将广泛的技术融入组装过程。它基于模块化体系结构,利用一组模块化平台帧自定义设置。这使用户能够快速准确地将多个不同的流程步骤集成到设备中。该系统非常用户友好,使工程师能够在几分钟内轻松开始制造过程。它还为工艺开发和新技术原型设计提供了一个平台。该机组的核心是一个先进的多区反应堆，便利了广泛的过程。它能够进行干蚀刻、湿蚀刻、沉积和溅射过程。反应堆的多个热区还允许在不同温度下整合多个制造工艺。反应堆还有一个内置的计算机控制温度控制器，这样每个温度区都能被精确控制。该机器还具有若干安全功能，旨在确保该过程以安全的方式进行。它有一个带有氮气净化工具和安全阀的压力服务模块，旨在确保反应堆内部的压力在可接受的限度内。此外，资产有内置离子源和离子植入器。这允许用户执行各种离子植入过程，用于修改正在制造的IC的电性能。该模型还包括几个自动化选项。这包括一个自动采样和收集设备，一个安全面板来监控过程，以及一个易于使用的配方系统。综上所述，APPLIED MATERIALS/APPLED MATERIALS CENTURA反应堆是一个功能强大、用途广泛、技术先进的集成电路制造单元。其独特的设计允许结合多个工艺步骤，其安全特性确保机器安全可靠。
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