二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9183325 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一种高度通用的硅加工设备，用于制造半导体。它的灵活性使得它成为各种项目的有用工具，从小规模原型设计到高产量运行。AMAT CENTURA Reactor是一种在热处理室中处理硅基板的单步高真空反应器。这种独特的专利设计提供了一种高度均匀、低介电常数的涂层。该腔室配有石英波纹管密封、低压泵送系统，配有快速循环阀和计算机控制流量的气体输送系统。该反应堆旨在减少成本高昂的工艺步骤，同时满足行业对薄膜均匀性、可靠性和产量的要求。该反应器主要用于沉积硅化钨、硅化钛、硅化钴和其他硅化物材料。它有一个单室，高15英寸，宽2英尺，深4英尺。该腔室配有两个独立的电子微处理器控制器，几个温度和气流传感系统，以及一个腔室视图端口。温度可设定为50-1000⁰C,最高处理温度为850⁰C。反应堆有可互换的晶圆载体，容纳直径3至8英寸的晶圆尺寸。载波为每个晶片提供精确的水平和垂直位置。转动载流子提供的离心力产生表面电荷，确保得到的薄膜具有一致的均匀性和厚度。应用材料CENTURA反应堆是许多半导体工艺的宝贵工具。随着可调节参数的多功能性，包括温度、气流、压力和反应时间，这种反应堆可以提高效率，同时降低制造过程中的成本和时间。其精确的包络设计、稳健的电子设备以及精确的气体和温度控制，确保了工艺结果的一致性和精确度。