二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9187474 待售
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已售出
ID: 9187474
晶圆大小: 12"
优质的: 2001
Etch system, 12"
Rev.4
(2) Load locks
(2) Load ports
Front end
Chamber configuration:
Chamber 1:
APPLIED MATERIALS HART3 Deep trench chamber
Silicon etchers
Chamber 2:
APPLIED MATERIALS HART3 Deep trench chamber
Silicon etchers
Chamber 3:
APPLIED MATERIALS HART3 Deep trench chamber
Silicon etchers
Chamber 4:
APPLIED MATERIALS HART3 Deep trench chamber
Silicon etchers
Power requirements:
208 V
3 Phase
CE Marked
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种反应堆，主要用于半导体制造。这种特殊类型的反应堆设计用来安全地容纳某些过程所需的高温和压力，例如氧化和扩散。主要用于硅片等元件的制造。AMAT CENTURA是一个水平淋浴头配置反应堆，主要部件为外石英管、内石英管、冷却风扇和基板支撑。外部石英管由不锈钢表壳包裹，提供额外的保护。内部石英管含有将要被氧化或扩散的粉末。基板支撑是附着在淋浴台构型底部的石英板。它提供了一个平台，在该平台上可以放置基材，并将所施加的粉末散布在基材上。然后使用冷却风扇将施加的粉末从基板上抽出,从而使过程保持平稳运行,并防止任何主要热量积聚。APPLIED MATERIALS CENTURA由计算机控制系统操作和监控。这种计算机控制系统保证了每个过程的准确性和精确度。它还跟踪所有可能影响或影响进程输出的参数。所有这些数据都存储在计算机的数据库中，这使得分析任何潜在的问题或需要进行的更改变得更加容易。总之，CENTURA是一种主要用于半导体制造业的专用反应堆。它旨在安全地控制某些过程所需的高温和压力，例如氧化和扩散。它由计算机控制系统操作和监控，确保所有过程的准确性和精确度。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是在半导体工业中产生准确、高质量结果的可靠高效工具。
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