二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203384 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种化学气相沉积（CVD）反应器，用于在基板上制造各种材料的薄层。设备由一个主腔室、腔室壁和一个感光器组成，在沉积过程中将晶片固定到位。腔室装有两个传感器，监控反应堆内部的压力。反应堆还可以容纳一系列前体，如硅烷、膦和三氯化硼，用于沉积物料层。AMAT CENTURA系统旨在提供完整的过程控制和监控,并提供清洁的环境。腔壁由高氮化石英材料制成，有助于减少加工过程中的排气和扩散，这有助于确保一个一致的、高质量的成品层。室壁在顶部和底部都有多个挡板，并充满了氮气，以帮助在内部创造理想的环境。此外，室壁和门设有排气单元，以确保空气连续流向腔室，有助于减少杂质或可能使最后一层受损的污染物。敏感剂在沉积过程中也很重要，通常附着在加热的基座上，在整个过程中有助于保持整个基板的均匀温度。这些晶片涂有一层牺牲性的材料，如氮化钛，通过机器人手臂装载到磁感器上。机器人臂还负责在沉积过程中定位晶片，并在过程完成后将其移除。APPLIED MATERIALS CENTURA系统专为一系列应用而设计,允许用户生产金属、半导体、绝缘体和电介质的薄膜。该机还能沉积砷化氙、磷化氘、氧化锡等材料。沉积过程是完全封闭的，确保沉积过程中不会引入任何污染物或杂质，从而允许完全清洁和一致的材料层。最后，该工具设计具有用户友好的界面和一系列安全功能，便于操作和维护。