二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203459 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种反应堆，设计用来将材料的薄层沉积在基板（表面）上，例如在制造太阳能电池时。它是专门为大规模生产光伏电池而设计的物理气相沉积（PVD）反应器。AMAT CENTURA由几个组件组成，这些组件协同工作，将受控的物料流动输送到基板上。主室由一个内径几英尺的石英管组成，密封在顶部和底部。这个内室被加热到高温，通常在950C左右。附着在主室的是另外两个侧室，分别加热到不同的温度。主室内部有几个气体入口和出口，用来存放材料。气体入口通常输送氢气、氟化氢和氧气等气体，出口用于排出一旦材料沉积就产生的废气。要涂覆的基板附着在手臂上，手臂随后被移入腔室，由机器人运动控制系统放置在所需位置。一旦材料准备好被沉积，目标材料，如硅片，被放置在基板上。一旦目标材料处于正确的位置，它就被两个侧室加热，气体入口开始供应用于沉积的气体溷合物。气体溷合物使用反馈系统进行操作，以确保沉积物中存在所需的质量。反应堆还有一些其他的工艺可以用来控制沉积，例如使用旋转的目标来制造均匀的涂层。一旦沉积完成，手臂就从腔室中抽出，然后可以安全地去除基板，检查其上的物料层。APPLIED MATERIALS CENTURA是一种强大、可靠、高效的光伏电池和其他类型技术大规模沉积系统。