二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9204753 待售
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ID: 9204753
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
Etcher, 12"
Process: Oxide
(3) Poly chambers
(1) Axiom chamber
(1) EFEM with KAWASAKI Robot
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一种最先进的基材加工反应堆，设计用于实现商用级半导体生产。这种先进的蚀刻工艺可处理反应性光束、物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）腔室，从而提高通量并提高产率。AMAT Centura Enabler的创新设计包括了广泛的腔室尺寸选择，让客户能够使反应堆适应自己的生产环境。此外,APPLIED MATERIALS Centura Enabler的设计考虑了物理和环境安全。其分子排除油墨（MEI）腔室设计提供精确的温度控制的热处理与离子边缘，允许提高均匀性和过程的可重复性。为了增加安全性，Centura Enabler包含一个内置的气流控制系统，允许对腔室内的气体分布进行精确的控制和一致的监测。该室还具有内置真空系统，确保所有组件都是密封的，没有任何密封或垫圈。此外，该室的设计是为了最大限度地减少反向扩散的离子和改善沉积表面的控制，提高均匀性和产率。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler高效的热管理系统还确保整个反应堆保持一致的温度，从而实现最佳的加工条件。其单壁垂直设计减少了反应堆的占地面积，最大限度地提高了地板利用率。AMAT Centura Enabler还具有符合人体工程学、高度可调的用户界面，可以方便地操作和控制反应堆。APPLIED MATERIALS Centura Enabler是商用级半导体生产必不可少的组件。它提供了广泛的腔室尺寸选择、精确的温度控制热处理、气流控制、真空系统、改进的均匀性和工艺可重复性、提高的产量、高效的热管理、单壁垂直设计和符合人体工程学的界面，确保商业级生产安全和达到最佳水平。
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