二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9207994 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA系列反应堆设计用于先进金属互连的高长宽比等离子体蚀刻，提供快速的通量和最小的热暴露。该设备采用5级淋浴头气体喷射器，提供超低分压和精确计时，以优化金属蚀刻条件。电气系统采用快速响应节流技术，能够精确控制工艺温度，从而获得所需的薄膜性能。这种柔性气体注入和电气单元的结合使得AMAT CENTURA系列成为高长宽比等离子体蚀刻的理想选择。应用材料CENTURA反应器是为先进的半导体加工而建造的，利用先进的等离子体蚀刻能力进行金属互连。在蚀刻过程方面，反应堆配备了先进的5级淋浴喷头气体喷射器，允许超低分压和精确计时。这台机器还采用快速响应节流技术，提供对工艺温度的精确控制，同时提供最佳蚀刻条件。此外，其先进的反馈控制工具能够快速稳定温度，这对于其高温能力至关重要。CENTURA系列反应堆还拥有广泛的能力，旨在最大限度地提高蚀刻性能，包括次循环锁定定时、可编程基板预热、气体剖面优化等等。这些特性的结合提供了极好的均匀性和可重复性，使得高品质产品的生产，即使在高级工艺节点上也是如此。此外，该资产的设计采用无变形墙和可调基板支架，提供无与伦比的准确性和灵活性。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA系列采用了质量最高的组件，从而形成了可靠、坚固的模型。它具有坚固的不锈钢框架，旨在最大限度地减少振动，并提供出色的隔热。设备先进的热循环功能还允许在广泛的工作温度范围内稳定温度,使其成为高长宽比蚀刻需求的绝佳选择。总体而言，AMAT CENTURA系列是蚀刻金属互连的可靠且先进的工具。该系统结合超精密气体注入、精密温度控制和坚固的结构，为高性能和高产蚀刻需求提供了卓越的工艺精度。其出色的功能集是为先进的半导体工艺而设计的,它允许利用最新的工艺节点和技术生产高质量的产品。