二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9218563 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA（AMAT CENTURA）反应器是一种专为大体积、高温蚀刻、沉积和表面工程应用而设计的专用加工室。利用先进的等离子体技术，APPLIED MATERIALS CENTURA反应器可用于化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、离子植入等多种晶圆制造工艺。对于所有制造商而言,无论应用程序或复杂性如何,此合一过程都是一个高效且经济高效的解决方桉。CENTURA反应器是利用电子回旋共振（ECR）感应场的先进等离子体技术。这种ECR提供了超过任何其他可用沉积方法的最高温度等离子体条件，非常适合在高工艺温度下的应用，如固化环氧树脂和玻璃。ECR等离子体源的精密技术使各种工艺条件和参数易于调整，以达到最大工艺产量和性能。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应器可用于沉积多种材料，包括氧化物、氮化物和氧乙二醇。也可用于蚀刻硅、氧化物和光致抗蚀剂，包括高长宽比结构。反应堆独特的定制腔室设计允许高通量生产，与其他等离子体处理方法相比，蚀刻和沉积速度更快。AMAT CENTURA反应堆还加入了独特的多区重量装载系统，允许晶圆的装卸完全灵活。这使得系统非常适合紧密集成到各种进程中，并允许增加加载和卸载晶片的吞吐量时间。电源设计用于提供超低噪声级别,并在进程运行期间防止任何波动。应用材料CENTURA反应器是一种先进的等离子体处理工具，在蚀刻、沉积和高温应用方面提供无与伦比的性能。它为过程的稳定性提供了良好的温度控制,并设计了最大的吞吐量.CENTURA反应堆具有出色的低噪声电源、卓越的多区重量加载系统和可靠的ECR感应场,是满足您所有等离子体处理需求的理想选择。