二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9227018 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一种高真空化学/物理气相沉积（CVD/PVD）反应器。这类CVD/PVD反应堆经常用于微电子、光电子等高性能应用。AMAT CENTURA反应堆的关键部件包括工艺室、真空泵、沉积源、气体面板和工艺控制设备。该工艺室是反应堆的主要部件，由一个可密封的室和一个可以打开和关闭的门系统组成，以调节室内的大气。在工艺室内，气体反应物被引入真空泵产生的真空环境。反应物随后暴露在高温下，通常高达1100 °C，由沉积源设定。沉积源可以是电子束蒸发器、感应耦合等离子体源，也可以是电阻蒸发源，视应用而定。安装在APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆中的气体面板负责根据用户建立的具体参数，将反应物引入工艺室。它还能够控制使用气体的速率和百分比。此外，气体面板包括传感器和关闭阀，使用户能够控制沉积溷合物的每一组分的流动和激活。过程控制单元负责控制和监测反应堆室的参数。工艺控制机能感应沉积速率和沉积基板的温度，以及腔室大气的压力。它还具有根据需要调整温度、工作气氛和其他变量以优化沉积过程的参数。CENTURA反应堆是几十年来广泛应用于微电子和光电工业的强大工具。其高真空能力、精密的沉积源以及强大的工艺控制工具，使得能够创造出最先进的材料技术应用所需的高度精密和复杂的微观结构。