二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9237390 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是生产多晶硅膜的低温多晶硅沉积反应器。AMAT CENTURA多晶硅反应器（AMAT）用于制造许多微电子元件。应用材料CENTURA多晶硅反应器通常在500至600摄氏度的温度下运行，以生产纯度为99.999%的薄膜。CENTURA多晶硅反应器由被称为"堆栈"的多级石英管组成。该堆栈包含几层石英、石英挡板和一个反应室。上下石英管形成反应室的壁，而中间的石英挡板是热隔离的金属成分，充当传播热能的屏障。反应室由高温感应加热器和来自原料的热氢供应管线加热。AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA多晶硅反应器设计为生产具有高纯度、均匀晶体结构、对薄膜特性高度控制的薄膜。它还能够微调薄膜的沉积速率和性能，以优化所需的结果。在操作过程中，硅粉被引入反应室中，这是暴露在高温和压力的组合。与硅粉溷合的热氢气汽化形成单独的硅颗粒，与热壁和石英挡板接触后，反应并沉积到基板上产生薄膜。然后将薄膜进行后处理、冷却和切成晶片以便以后处理或包装装运。可以控制AMAT CENTURA反应器的沉积速率，确保达到表面性能良好的薄膜。使用先进的气体输送系统减少了单个晶圆循环的生产时间，并提供了改进的过程控制。APPLIED MATERIALS CENTURA系统能够生产尺寸和形状极为均匀的薄膜,这使得它成为MEM、集成电路和光伏电池等薄膜元件制造商的理想选择。其精确控制沉积速率、均匀性、薄膜特性的能力，使其成为微电子制造过程中的有力工具。