二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9245641 待售
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已售出
ID: 9245641
晶圆大小: 12"
CVD System, 12"
Includes:
0010-08687 Upper chamber A Ultima X HDP-CVD
0010-08687 Upper chamber B Ultima X HDP-CVD
0190-02955 Centura factory interface FFU-AMT -S1
0010-23250 Monolith unplat, 12"
ADVANCED ENERGY 3155120-001 A RF Rack
330241-D3GP Gas box platform, 12"
(2) SMC CORPORATION INR-498-011B Thermo chillers
0190-4213, 1B05180G03 HDP-CVD Primary AC distribution, 12"
Factory interface components:
(2) NEWPORT KENSINGTON 25-3700-1425-08 Robots
(2) KENSINGTON LABORATORIES Servo positioning controllers
(2) TKD CORPORATION TAS300, 02TF12953, 0190-17837 Load ports
KENSINGTON LABORATORIES 25-3600-0300-03 Wafer indexer
RF Rack components:
(2) ADVANCED ENERGY A3H0C200BA120G001A RF Generators, 10 kW/13
(2) ADVANCED ENERGY HFV 8000, 3155083-180A, 0920-0112 RF Generators
Robot
NSK Driver
(2) RPS Units
Missing parts:
Interconnect cables
Controller cabinet.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是一种使用外延技术建造纳米结构的工具。它是一种通用、灵活、高效的半导体制造设备。它有三个腔室，使用13.56 MHz射频源将能量输送到基板，允许高度精确的沉积和蚀刻。AMAT CENTURA反应堆的主室是底物沉积系统。该单元用于将器件材料沉积到基板上，并由石英晶体压力平衡、高分辨率步进电机控制。本机可针对溅射、直流磁控管溅射、火炬溅射、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等不同过程进行调节。该工具还能够同时处理多种尺寸的基板。APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor的第二室是外延资产。该腔室具有用于在基板上放置偏置的射频偏置，允许使用电子枪直接写入所需的纳米结构。该模型还能够以非常高的精度和高速蚀刻所需的纳米结构。该腔室还可以使设备退火,这是稳定设备材料所需的步骤。CENTURA Reactor的最后一个室是计量室，其中包括光学显微镜、原子力显微镜（AFM）、扫描电子显微镜（SEM）和椭圆仪等计量工具。使用这些工具可以对纳米结构进行高分辨率成像，以及对其特性进行动力学分析。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是制造纳米结构的可靠、高性能的工具。利用它的三个腔室和经过微调的射频系统，这个工具可以用非常高的精度和速度来制造最复杂设计的纳米结构。其多功能性和效率使其成为任何纳米结构制造应用的一种经济高效、可靠且极好的选择。
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