二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9250769 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于一系列半导体工艺。它使薄膜和屏障层从CVD前体中生长出来，从而在各种工件基板上形成复杂而精细的结构。AMAT Centura Enabler具有先进的单晶圆工艺室,能够轻松适应快速的温度升高。该腔室使整个晶片的均匀度在0.3°C以内,从而提高了性能并提高了工艺可靠性。Enabler配备了Flex Temperature Control Design, Flex Temperation Control Design是一项获得专利的功能,可创造无氧环境,减少污染并延长晶圆寿命。这项技术可以精确控制温度,而不会影响工艺临界尺寸（CD）的精度。APPLIED MATERIALS Centura Enabler提高了工件热处理能力,因为它能够为各种工艺精确输送气体,同时提供无与伦比的基板温度控制。反应堆还配有双工气体面板和多源高速气体阀，两者完全可定制，以最适合制造环境的需要。Centura Enabler结合了先进的PID控制环路来管理炉温和压力。该控制回路可调节，以优化高温和低温环境下的性能，并确保材料沉积过程中的精确温度控制。反应堆还设有低压等离子体源和远程等离子体控制。这允许精确的血浆控制，并允许使用各种各样的工艺化学方法。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler的设计考虑到了高生产率,并配备了快速热循环系统。这使得高速加热和冷却时间成为可能，让用户增加生产吞吐量。反应堆还结合了并行工艺室技术来支持多种工艺。AMAT Centura Enabler是寻求提高产量和可靠性的原型和生产工厂的理想选择。它具有全面灵活的特点，是现代半导体工业的宝贵工具。