二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282471 待售
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ID: 9282471
System
(5) AMAT Enabler
(3) Chamber Enabler
(1) Generator rack
(1) EFEM with YASKAWA Robot
VHP Robot
TDK Loadport.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是为一系列先进工艺设计的多功能反应堆。它具有先进的石英粉体形式,非常适合高温工艺和超平表面轮廓。它还提供低成本、低维护和高可靠性。Enabler具有多种功能,可满足高功能、高复杂性过程(如低温氧化物生长和铜蚀刻)的要求。Enabler还具有真空沉积、电化学、热氧化、蚀刻、金属沉积和薄膜沉积工艺等先进功能。Enabler旨在充分利用单个腔室。它占地面积小,运营成本低。启用程序能够以最可重复的结果创建高质量的功能。例如,当使用"启用程序"(Enabler)进行薄膜处理时,可以创建宽达37 nm且同时具有线宽控制和临界尺寸保真度的结构。Enabler还提供超高吞吐量和低温过程。它的设计结合了高精度和多室访问并行过程。这样就可以创建更大的曲面和复杂的结构,否则很难实现。这对于晶片级工艺(如电介质)特别有用,可以以高达270 nm/min的速度沉积。Enabler还具有集成的流程控制功能,可实现高流程资产利用率。它还提供了用户友好的软件控制,以提供工艺参数的无缝集成。这确保了软件操作的一致性,并实现了间隙控制和基板的均匀性.Enabler功能强大,是一系列高级流程的理想选择。它的设计和特点使其成为既定工艺和新研发的绝佳选择。它的功能,加上低成本、低维护和高可靠性,使其成为一系列应用程序的绝佳选择。
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