二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282472 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是用于半导体加工的沉积反应器。它是实现原子层沉积（ALD）、化学气相沉积（CVD）和溅射等各种底物沉积技术的行业领先平台。它是半导体制造业中使用最广泛的等离子体增强沉积工具之一。AMAT CENTURA反应堆为多步骤过程序列提供了一个平台，可以根据每个单独过程的要求量身定制。这些序列包括热处理、基于等离子体的沉积、蚀刻和离子植入。这种灵活性使得该工具可用于广泛的沉积过程应用。此外，反应堆还可以配备各种先进的分析工具，用于实时监测过程。Advanced Materials APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆设计有多种工艺和腔室组件,可配置为满足特定的客户要求。关键部件包括高真空室、高纯度气体分配和洗涤设备、充电系统和温度控制系统。腔室配有足够的端口，用于快速准确地监测传入的晶片、气体和温度传感器。CENTURA反应器对底物温度、气体成分和工艺压力提供了极好的控制。它采用了几种行业领先的技术，如抗热基板卡盘、斜压装置和先进的气流控制器。这些功能提供了更高级别的流程控制,这对于实现一致且可重复的流程至关重要。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆还具有先进的计量能力，如自动化过程控制（APC）和原位过程监测（IPM）系统。APC使用常规测量数据来确定流程参数是否满足和/或超过预先定义的目标条件。这可以快速检测沉积过程中的过程漂移，防止产品质量受到损害。IPM是一种监测机器架构内反应堆实时沉积过程数据的能力；这样可以确保基板的均匀性和过程控制。AMAT CENTURA反应器是几种复杂半导体加工应用的一种经济高效、可靠的工具。其先进的计量能力、过程控制能力和灵活性使其成为高质量过程的理想选择。