二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9286835 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
ID: 9286835
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Oxide etcher, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler是一个高度先进的反应堆,设计用于3D集成电路(IC)应用的大容量处理。与传统的平面IC解决方桉相比,其卓越的设计使3 D IC解决方桉的低成本制造具有运行时、产量和性能优势。Enabler利用专有的AMAT技术和先进的反应堆设计实现独特而高效的3D IC集成。Enabler是一个溷合系统,它结合了优化和隔离的过程室,以集成多层电路,而无需花费昂贵的多步骤过程。它提供先进的逐层(LBL) CVD功能,并且能够使用二维和三维3D IC体系结构。这为高性能、节能的3D IC产品提供了低成本的制造途径。启用程序能够同时进行低温CVD (LTCVD)和原子层沉积(ALD)过程,从而可以形成一系列设备体系结构。这样就可以制造复杂的逻辑、内存、存储和模拟集成电路。ALD是一种薄膜沉积技术,用于形成亚纳米厚度的薄膜,以精确控制层的性质。启用程序还使用可变掩码扫描(VMS)技术来确保后续图层的精确对齐。这进一步确保了设备级别的稳定性和设计可扩展性。借助这项技术,Enabler允许对每一层进行微调,以改善设备功能。Enabler还提供全自动操作,对温度、压力和其他工艺参数进行严格控制。这样可以在各种基板几何形状上实现均匀一致的层厚度。Enabler还可以针对各种生产配方快速配置,并提供一整套工艺工具。Enabler由嵌入式、安全、基于Linux的系统提供支持,用于实时数据收集和自主过程控制。这种强大的体系结构可确保高级数据安全性和可靠的性能,以实现高容量生产。结合APPLIED MATERIALS签名客户支持,Enabler为快速创新和成功制造3 D IC提供了理想的环境。
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