二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9288113 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是专门为半导体制造而设计的多室反应器。它是一个两层的集群工具，在一台机器中提供等离子体蚀刻和沉积过程。工艺室以"群集"配置排列,允许同时运行不同的工艺,从而能够以较小的特性进行生产,提高吞吐量和提高产量。AMAT CENTURA配备了先进的等离子体蚀刻和沉积技术，为满足特定客户需求量身定制。其等离子体蚀刻室配备了PlasmaCore或PECVD（等离子体增强型化学气相沉积）工艺，可以进行优化，以最大限度地提高层均匀性、吞吐量和几何精度。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA还提供了蚀刻过程中即时载波控制的附加功能,这对于高级设备的生产至关重要。沉积室主要用于厚层硅氧化物和掺杂氧化物的沉积，但其他沉积过程也可在CENTURA上进行管理。沉积是使用TEOS（四乙基硅酸盐）或ALD（原子层沉积）工艺进行的，也可以量身定制以满足特定的客户要求。沉积层可以在100到1000埃之间，可以进行调谐，以达到更高的工艺均匀性和产率。除了作为沉积和蚀刻反应堆的能力外，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA还提供了一些特殊功能，包括用于去除蚀刻残留物的先进光阻去除剂（APR）、用于控制腔室内环境的污染控制系统（CCS）以及用于监测和维护工艺条件的自动化过程控制（APC）。AMAT CENTURA是一种高度通用和高效的工具,能够生产质量极高的设备层,其工艺产量比传统工具显着提高。其高精度的沉积和蚀刻能力，加上先进的污染控制系统和自动化的过程控制，确保了各种应用领域的可靠和一致的结果。因此,APPLIED MATERIALS CENTURA非常适合生产具有最先进设备体系结构的高频设备。